英特爾、大日本印刷於17日宣佈,將合作研發新一代MPU生產時必要的光罩相關技術;雙方預定以2001年為目標,研發對應線寬0.13微米精密加工相關技術。英特爾於光罩描畫方面擁有豐富know-how,大日本印刷則擅長量產。
英特爾預定將雙方合作研發成果,運用於光罩生產,大日本印刷則計劃對英特爾以外半導體業者,促銷相關技術。光罩相當於照相時底片,首先在透明的玻璃基板上描畫精密的電路pattern,再運用曝光裝置燒製於晶圓上。伴隨著電路精密度提升,光罩生產技術難度也越來越高,因此,光罩業者亟需與半導體業者合作,研發相關技術。
大日本印刷於88年6月接收日立製作所光罩部門,12月並宣佈與東芝合作,研發對應線寬0.13微米加工需求光罩相關技術。目前於全球光罩市場市佔率約20%,今後可望進一步提升。 |