台灣光罩表示在設備的投資上，下了極大的功夫，88年資本支出達 4-5億元，預計89年資本支出為3億元。台灣光罩並指出，89年0.25微米製程的光罩在營運比重，將提升為30%。

光罩產業對設備投資的金額多，營業額卻沒有配合成長，但台灣光罩88年的盈餘約 1億多，與其他光罩廠相較下，屬於成長中的公司，也由於有盈餘，才有實力在設備上作大筆的投資。

日前杜邦光罩(DPI)宣佈收購法國 IBM光罩廠，及日本的DNP整合 Fujitsu、Toshiba、Hitachi的光罩部門，在全球光罩產業收購或合併趨勢下，許多 IDM公司紛紛將光罩部門的產能釋出，與光罩業者進行手牽手的動作。